Chemical elements have been discovered that can contaminate high-purity crystalline, ceramic and glass materials during the production and research of photonic and electronic devices. The sources of pollution analyzed were street air in the spring and summer, air polluted with construction dust, various cosmetics, protective gloves and cleaning materials. Recommendations for reducing uncontrolled pollution are proposed.
Elena N. Voronina – postgraduate student of the Department of Chemistry and Technology of Crystals, Mendeleev University of Chemical Technology of Russia (MUCTR), Moscow, Russia
Elena N. Mozhevitina – PhD in Chemistry, Associate Professor of Department of Chemistry and Technology of Crystals, Mendeleev University of Chemical Technology of Russia (MUCTR), Moscow, Russia
Sofya S. Zykova – graduate student of the Department of Chemistry and Technology of Crystals, Mendeleev University of Chemical Technology of Russia (MUCTR), Moscow, Russia
Marina P. Zykova – PhD in Chemistry, assistant of Department of Chemistry and Technology of Crystals, Mendeleev University of Chemical Technology of Russia (MUCTR), Moscow, Russia
Igor Ch. Avetissov – Doctor in Chemistry, Head of the Department of Chemistry and Technology of Crystals, Mendeleev University of Chemical Technology of Russia (MUCTR), Moscow, Russia
1. Наумов А. В., Орехов Д. Л. Новый этап развития рынка поликристаллического кремния // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2022. Т. 25, № 1. C. 23 – 38.
2. Чурбанов М. Ф., Колесников А. Н., Туранов А. Н. и др. Высокочистые вещества. М.: Научный мир, 2018. 994 с.
3. ГОСТ Р ИСО 14644-1–2017. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 1. Классификация чистоты воздуха. М.: Стандартинформ, 2017.
4. ГОСТ Р ИСО 14644-2–2020. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 2. Текущий контроль для подтверждения постоянного соответствия чистоты воздуха по концентрации частиц. М.: Стандартинформ, 2020.
5. ГОСТ Р ИСО 14644-3–2020. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 3. Методы испытаний. М.: Стандартинформ, 2020.
6. ГОСТ Р ИСО 14644-4–2002. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию. М.: Стандартинформ, 2002.
7. ГОСТ Р ИСО 14644-5–2005. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 5. Эксплуатация. М.: Стандартинформ, 2005.
8. ГОСТ Р ИСО 14644-7–2007. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения). М.: Стандартинформ, 2007.
9. ГОСТ Р ИСО 14644-8–2014. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 8. Классификация чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений. М.: Стандартинформ, 2014.
10. ГОСТ Р ИСО 14644-9–2013. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц. М.: Стандартинформ, 2013.
11. ГОСТ Р ИСО 14644-10–2014. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений. М.: Стандартинформ, 2014.
12. Krzciuk K. Intelligent analysis of samples by semiquantitative inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP–MS) technique: A review // Critical Reviews in Analytical Chemistry. 2015. V. 46, No. 4. P. 284 – 290.
13. Yamada N. Kinetic energy discrimination in collision/reaction cell ICP-MS: Theoretical review of principles and limitations // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. 2015. V. 110. P. 31 – 44.
14. Hesse M., Halbritter H., Zetter R., et al. Pollen terminology. An illustrated handbook. New York: SpringerWein, 2009. 264 p.
15. Ansell – leading the way forward in safety solutions for all. URL: https://www.ansell.com/us/en (дата обращения: 24.02.2024).
The article can be purchased
electronic!
PDF format
700 руб
DOI: 10.14489/glc.2024.09.pp.059-066
Article type:
Research Article
Make a request
