Исследованы возможности осаждения тонких слоев диоксида кремния на поверхности кварца в зависимости от химического состава исходных реактивов и условий проведения процесса. Показана возможность применения для осаждения хлорида и алкоголятов кремния. Табл. 2, библиогр.: 3 назв.
NULL
NULL
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
Нет в продаже
УДК 535.561:539.23
Тип статьи:
Наука - стекольному производству
Оформить заявку
