Механизм роста кристаллов нитрида кремния при горении ферросилиция в азоте

Исследован процесс нитридообразования при горении сплава железо - кремний в газообразном азоте. Установлено, что синтез нитрида кремния происходит при температурах (2100 °С), значительно превышающих температуру появления жидкой фазы (1206 °С). Кремний в процессе синтеза находится в жидком состоянии в виде железокремниевого расплава и газообразном. Электронно-микроскопические исследования показали, что рост кристаллов нитрида кремния осуществляется по двум механизмам: пар - жидкость - кристалл и кристаллизацией из железокремниевого расплава. Соотношение вкладов этих механизмов в процесс структурообразования нитрида кремния определятся условиями синтеза. Ил. 4, библиогр.: 8 назв.