Проведено изучение качества поверхности трех видов корундовых материалов для подложек микросхем. Показано, что качество поверхности после шлифовки и полировки зависит от размеров кристаллов в керамике, которое во многом определяется дисперсностью исходного порошка, добавками и режимом спекания. Ил. 12, библиогр.: 7 назв.
Д-р техн. наук Е. С. Лукин
1 (
Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.), Е. В. Ануфриева
1, Н. А. Попова
1, Б. А. Морозов
2, В. С. Преображенский
2, канд. техн. наук В. А. Безлепкин
2, Л. С. Ухватова
3, Г. В. Бржезинский
4;
1 РХТУ им. Д. И. Менделеева (Россия, г. Москва),
2 ОАО "Поликор" (Россия, г. Кинешма),
3 НИИИС (Россия, г. Нижний Новгород),
4 Региональный центр "Наноиндустрия" (Россия, г. Нижний Новгород)
Лукин Е. С., Попова Н. А., Здвижкова Н. И. и др. Технология керамики на основе оксида алюминия, содержащей диоксид циркония // Огнеупоры. 1987. N 5. С.8-10.
Дабижа А. А., Плинер С. Ю. Особенности технологии керамики на основе стабилизированного диоксида циркония // Огнеупоры. 1986. N 11. С. 23 - 29.
Тонкая техническая керамика / под ред. Х. Янагида; пер. с яп. М.: Металлургия, 1986. 278 с.
Лукин Е. С., Попова Н. А., Цецхелидзе Д. Л. и др. Прочная корундовая керамика "Сикор" // Огнеупоры. 1991. N 3. C.2-3.
Лукин Е. С., Попова Н. А., Здвижкова Н. И. и др. Прочная керамика на основе оксида алюминия и диоксида циркония // Стекло и керамика. 1993.N9-10. С. 25-29. Lukin E. S., Popova N. A., Zdvizhkova N. I. A strong ceramic based on alumina oxide and zirconium dioxide // Glass and Ceram. 1993. V. 50.N9-10. P. 402- 407.
Каныгина О. Н., Геращенко И. П., Зиновьев О. М. Термостойкость, прочность и структура корундовой керамики // Стекло и керамика. 1993.N7-8.С.17-19. Kanygina O. N., Gerashchenko I. P., Zinov'ev O. N. Termal stability, strength, and structure of corundum ceramic // Glass and Ceram. 1993. V. 50.N7-8.P.345- 349.
Лукин Е. С. Теоретические основы получения и технология оптически прозрачной керамики: учеб. пособие. М.: МХТИ им. Д. И. Менделеева, 1981. 36 с.
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
Нет в продаже
УДК
Тип статьи:
Наука - керамическому производству
Оформить заявку