Представлены результаты обработки измерений ТКЛР и относительного удлинения боросиликатных стекол двух марок ? ЛК5 и Borofloat 33. Термомеханическим анализатором TMA7100 было измерено удлинение образцов стекла в интервале температур от 130 до 800 К(от ?143 до +526 °C). Относительная погрешность косвенных измерений ТКЛР и относительного теплового удлинения стекол обеих марок не превышает ?5 и ?3 % соответственно. Представлены полиномиальные уравнения, аппроксимирующие полученные результаты измерений в зависимости от температуры. Полученные результаты облегчат задачи моделирования характеристик приборов микросистемной техники, изготавливаемых с применением анодной посадки кремния на стекло, а также их можно использовать для оптимизации температурного режима соединения кремния со стеклом
1. Новикова С. И. Тепловое расширение твердых тел. М.: Наука, 1974. 294 с.
2. Свидетельство об утверждении типа средств измерений ? 50103-12 от 01.06.2012: Анализаторы термомеханические серии EXSTAR TMA/SS 7000 модели TMA/SS 7100 и TMA/SS 7300. М.: Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 2012.
3. Кравченко Н. С., Ревинская О. Г. Методы обработки ре-зультатов измерений и оценки погрешностей в учебном ла-бораторном практикуме: учеб. пособие. Томск: Изд-во Томск. политехн. ун-та, 2011. 86 с.
4. Watanabe H., Yamada N., Okaji M. Linear thermal expansion coefficient of silicon from 293 to 1000 K // International Journal of Thermophysics. 2004. V. 25. N 1. P. 221 ? 236.
5. LK5 glass type / Lytkarino Optical Glass Factory, JSC [Лыткаринский завод оптического стекла]: сайт компании. URL: http://lzos.ru/glass_pdf/LK5.pdf (дата обращения 01.03.2015).
6. Schott Borofloat 33. The versatile floated borosilicate glass ? with an infinite number of applications / SCHOTT Technical Glass Solutions GmbH: сайт компании. URL: http://www.schott.com/borofloat/russian/download/borofloat_33_e.pdf (дата обращения 01.11.2014).
7. Каблов Е. Н., Гращенков Д. В., Исаева Н. В. и др. Высокотемпературные конструкционные композиционные материалы на основе стекла и керамики для перспективных изделий авиационной техники // Стекло и керамика. 2012. ? 4. С. 7 ? 11.
Kablov E. N., Grashchenkov D. V., Isaeva N. V. et al. Glass and ceramics based high-temperature composite materials for use in aviation technology // Glass and Ceram. 2012. V. 69. N 3 ? 4. P. 109 ? 112.
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
500 руб
УДК 666.1:621.3.082.61:536.413.2
Тип статьи:
На предприятиях и в институтах
Оформить заявку
