Приведены результаты исследования процесса резки слюды с помощью ультракороткого импульсно-го лазерного излучения пико- и фемтосекундного диапазонов с длиной волны 1030 нм. Импульсы фокусировались линзой с малой числовой апертурой (числовая апертура <0,1). Оптимиза-ция условий для достижения крупномасштабной обработки без микротрещин субмикронных размеров по краям и стенкам реза осуществляется при различной длительности импульса, энергии импульса и скорости сканирования. Были вырезаны образцы толщиной 0,1 – 0,2 мм, желаемый результат был достигнут без видимых зон термического влияния. Установлено, что использование системы отслеживания поверхности образца в реальном времени для регулировки положения фокуса на всем листе имеет важное значение, когда необходима обработка слюды в массовом производстве
Д-р техн. наук В. С. КОНДРАТЕНКО1 (e-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.), Д. Л. САПРЫКИН2, канд. физ.-мат. наук О. Н. ТРЕТЬЯКОВА2, 3, Д. Н. ТУЖИЛИН2 1МИРЭА – Российский технологический университет (Москва, Россия) 2ООО «НПЦ «Лазеры и Аппаратура ТМ» (Москва, Россия) 3МАИ – Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)
1. Кондратенко В. С., Третьякова О. Н. Проблемы создания новых лазерных технологий. М.: Изд-во МАИ, 2018. 160 с. 2. Кондратенко В. С., Кадомкин В. В., Лу Хунг-Ту и др. Технология лазерной иммерсионной обработки материалов // Приборы. 2020. № 4. С. 1 – 8. 3. Boerner P., Hajri M., Wahl T., et al. Picosecond pulsed laser ablation of dielectric rods: Angle-dependent abla-tion process model for laser micromachining // Journal of Applied Physics. 2019. V. 125. P. 234902. 4. Glezer E. N., Mazur E. Optically produced cross pattern-ing, based on local dislocations inside MgO single crystals // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. P. 882. 5. Lenzner M., Kr?ger J., Sartania S., et al. Femtosecond Optical Breakdown in Dielectrics // Phys. Rev. Lett. 1998. V. 80. P. 4076. 6. Yunxiang Pan, Xueming Lv, Hongchao Zhang, et al. Millisecond laser machining of transparent materials as-sisted by a nanosecond laser with different delays // Op-tics Letters. 2016. V. 41, No. 12. P. 2807 – 2810. 7. Varel H., Ashkenasi D., Rosenfeld A., et al. Microm-achining of quartz with ultrashort pulses // Applied Phys-ics. A. 1997. V. 65, No. 4. P. 367 – 373. 8. Jia T. Q., Xu Z. Z., Li R. X., Wang H. Z. Mechanisms in fs-laser ablation in fused silica // Journal of Applied Physics. 2004. V. 95. P. 5166. 9. Nolte S., Momma C., Jacobs H., et al. Ablation of metals by ultrashort laser pulses // Journal of the Optical Society of America. B. 1997. V. 14, No. 10. P. 2716 – 2722. 10. Pronko P. P., Dutta S. K., Squier J., et al. Machining of sub-micron holes using a femtosecond laser at 800 nm // Optics Comm. 1995. V. 114. P. 106. 11. Maruo S., Kawata S. Three-dimensional microfabrication by use of single-photon-absorbed polymerization // J. Microelectromech. Syst. 1998. V. 7. P. 411. 12. Juodkazis S., Mizeikis V., Misawa H. Three-dimensional microfabrication of materials by femtosecond lasers for photonics applications // J. Appl. Phys. 2009. V. 106, No. 5. P. 1101 – 1115. 13. Linde D. von der, Sokolowski-Tinten K. The physical mechanisms of short-pulse laser ablation // Appl. Surf. Sci. 2000. V. 154–155. P. 1 – 10. 14. Smith N. I., Fujita K., Nakamura O., Kawata S. Generation of calcium waves in living cells by pulsed-laser-induced photodisruption // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 78, No. 8. P. 1209 – 1210. 15. Mizeikis V., Juodkazis S., Marcinkevi?ius A., et al. Tai-loring and characterization of photonic crystals // Photo-chemistry Reviews. 2001. V. 2, No. 1. P. 35 – 69. 16. Sun H.-B., Xu Y., Juodkazis S., et al. Arbitrary-lattice photonic crystals created by multiphoton microfabrication // Opt. Lett. 2001. V. 26, No. 6. P. 325 – 332. 17. Dong X.-Z., Zhao Z., Duan X.-M. Kondo T. Micronanofabrication of assembled three-dimensional microstructures by designable multiple beams multiphoton processing // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 91, No. 12. P. 4103. 18. Kaino T. Waveguide fabrication using organic nonlinear optical materials. // J. Opt. A: Pure Appl. Opt. 2000. V. 2, No. 4. P. R1 – R7. 19. Miwa M., Juodkazis S., Kawakami T., et al. Femto-second two-photon stereo-lithography // Appl. Phys. A. 2001. V. 73, No. 5. P. 561 – 565. 20. Glezer E. N., Milosavijevic M., Huang L., et al. Three-dimensional optical storage inside transparent materials // Opt. Lett. 1996. V. 21, No. 24. P. 2023 – 2028. 21. Watanabe M., Sun H.-B., Juodkazis S. et al. Three-dimensional optical data storage in vitreous silica // Jpn. J. Appl. Phys. 1998. V. 37. P. L1527 – L1530. 22. Третьякова О. Н., Шевченко Г. Ю. Создание управ-ляющих программ для автоматизации процессов ла-зерного управляемого термораскалывания полупро-водниковых и диэлектрических материалов // Вест-ник МАИ. 2011. Т. 18, № 6. С. 53 – 67. 23. Новинский А. Е., Шевченко Г. Ю. Программа управ-ления лазерным технологическим оборудованием для резки и сварки: Свидетельство о государственной ре-гистрации программы для ЭВМ № 2013613967. Заяв-ка № 2012661679. Дата поступления 25 декабря 2012 г. Зарегистрировано в реестре программ для ЭВМ 22 апреля 2013 г.
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
500 руб
УДК 621.7:679.9
Тип статьи:
Без рубрики
Оформить заявку
