Обсуждены проблемы получения высокотемпературной (НТСС) и низкотемпературной (LTCC) керамики и перехода от высокотемпературного процесса получения керамических материалов к низкотемпературному. Описан типовой процесс получения LTCC, а также характеристики и свойства классического стеклокерамического композита. Показаны основные направления применения стеклокерамики, полученной по LTCC-технологии.
Денис Сергеевич Волощук – аспирант кафедры химической технологии керамики и огнеупоров, ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева» (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Валерий Валериевич Анисимов – ассистент кафедры Химической технологии керамики и огнеупоров ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева» (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Николай Александрович Макаров – д-р техн. наук, профессор, заведующий кафедрой химической технологии керамики и огнеупоров, ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева» (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
1. Егоров Г., Капкин С., Стельмахович Л. и др. Многослойные керамические микросхемы // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. № 3. C. 44 – 49.
2. Симонов О. Современные технологии производства и тенденции в разработке металлокерамических корпусов // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 5. C. 140 – 146.
3. Кондратюк Р. А. LTCC – низкотемпературная совместно обжигаемая керамика // Наноиндустрия. 2011. № 2. C. 26 – 30.
4. Чигиринский С. Особенности и преимущества производства многослойных структур на основе керамики (LTCC, HTCC, MLCC) // Компоненты и технологии. 2009. № 11. C. 130–131.
5. Мешков С. А., Назаров В. В., Федоркова Н. В. Устройства СВЧ и антенны: учеб.-метод. пособие. Гл. Технология изготовления МКПП СВЧ на основе керамики низкотемпературного обжига. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана. 2007. 15 c.
6. Вендик И. Б. Миниатюрные СВЧ-устройства с применением LTCC-технологии // Компоненты и технологии. 2008. № 7. C. 25 – 29.
7. Симин А., Холодняк Д., Вендик И. Многослойные интегральные схемы сверхвысоких частот на основе керамики с низкой температурой обжига. Ч. 2. Средства проектирования и реализация пассивных устройств // Компоненты и Технологии. 2005. № 6. C. 210 – 216.
8. Производство керамических плат на основе LTCC для СВЧ-устройств [Электронный ресурс] / АО «Научно-производственное предприятие «Завод Искра». 2019. URL: https://zavod-iskra.ru/production/ ltcc.php (дата обращения: 13.01.2022).
9. Turalchuk P., Munina I., Kapitanova P., et al. Broadband Small-Size LTCC Directional Couplers // International Journal of Microwave and Wireless Technologies. EU Conference 40. Paris, France, 2010. Р. 1162 – 1165.
10. Vendik I., Kholodnyak D., Kapitanova P., et al. Tunable Dual-Band Microwave Devices based on a Combination of Left/Right-Handed Transmission Lines // International Journal of Microwave and Wireless Technologies. 2008. V. 1. Special Is. 4. P. 323 – 329.
11. Luo X., Ren L., Xia Y., et al. Microstructure, sinterability and properties of CaO–B2O3–SiO2 glass/Al2O3 composites for LTCC application // Ceramics International. 2017. V. 43. P. 6791 – 6795.
12. Chen X., Zhang W., Bai S., Du Y. Densification and characterization of SiO2–B2O3–CaO–MgO glass/Al2O3 composites for LTCC application // Ceramics International. 2013. V. 39. P. 6355 – 6361.
13. Induja I. J., Abhilash P., Arun S., et al. LTCC tapes based on Al2O3–BBSZ glass with improved thermal conductivity // Ceramics International. 2015. V. 41. P. 13572 – 13581.
14. DuPont Microcircuit Materials, Low Temperature Co-fire Dielectric Tape 951 Green Tape // Product Selector Guide. Rev. 10/04/2011. P. 1 – 3.
15. Sawicki A., Sachse K. Novel Coupled-Line Conductor-Backed Coplanar and Microstrip Directional Couplers for PCB and LTCC Applications // IEEE Transactions on microwave theory and techniques. 2003. V. 51. P. 1743 – 1751.
16. Sawicki A., Sachse K. Quase-Ideal Multilayer Two- and Three-Strip Directional Couplers for Monolithic and Hybrid MIC's // IEEE Transactions on microwave theory and techniques. 1999. V. 47. P. 1873 – 1888.
17. Manufacturing Design Guidelines for LTCC Substrates and packages [Электронный ресурс] // American Technical Ceramics. URL: www.atceramics.com (дата обращения: 13.01.2022).
18. AO «ПОЛИКОР»: корундовая продукция высочайшего качества [Электронный ресурс] // Промышленный портал «Бизнес России». 2019. URL: https://glavportal.com/materials/ao-polikor-korundo-vaya-produkciya-vysochajshego-kachestva (дата обраще-ния: 13.01.2022).
19. РКС представил керамические платы, изготовленные по LTCC-технологии [Электронный ресурс] // Форум «Армия-2020» / Госкорпорация «Роскосмос». 2020. URL: https://www.roscosmos.ru/29086/ (дата обращения: 13.01.2022).
20. ОНИИП достиг мирового уровня в создании многослойных плат [Электронный ресурс] / АО «Омский научно-исследовательский институт приборостроения», Госкорпорация «Росэлектроника». 2016. URL: http://oniip.ru/predpriyatie/novosti/ (дата обращения: 13.01.2022).
21. «Росэлектроника» освоила новую технологию создания многослойных плат [Электронный ресурс] // Публикации: Госкорпорация «Ростех». 2016. URL: https:// rostec.ru/news/4519618/ (дата обращения: 13.01.2022).
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
500
DOI: 10.14489/glc.2022.12.pp.021-026
Тип статьи:
Обзор
Оформить заявку
