Представлены результаты алмазно-абразивной обработки обратной стороны полупроводниковых пластин из карбида кремния политипов 4H и 6H. Исследованы размеры поверхностных микротрещин керамических пластин после абразивной обработки пастами с алмазным микропорошком различной зернистости, а также установлена взаимосвязь между длиной поверхностной микротрещины и скоростью съема материала, зависящей от технологических режимов алмазно-абразивной обработки. В результате предложен новый способ односторонней абразивной обработки тонких керамических пластин, обеспечивающий снижение трещинообразования.
Сергей Геннадьевич Бишутин – д-р техн. наук, профессор кафедры «Автомобильный транспорт», Брянский государственный технический университет, Брянск, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Сергей Сергеевич Алехин – аспирант кафедры «Технология машиностроения», Брянский государственный технический университет, Брянск, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.
1. Душко О. В., Шумячер В. М. Алмазное шлифование карбидокремниевой керамики для машиностроения. Волгоград: ВолгГАСУ, 2009. 80 с.
2. Бишутин С. Г., Алехин А. А. Выбор технологических режимов алмазно-абразивной обработки пластин из карбида кремния // Наукоемкие технологии в машиностроении. 2020. Т. 12, № 114. С. 3 – 6.
3. Бишутин С. Г., Алехин А. А. Технологическое обеспечение трещиностойкости пластин из карбида кремния при алмазно-абразивной обработке // Вестник машиностроения. 2021. № 4. С. 46 – 48.
4. Крайнев А. Ф., Гусенков А. П., Болотин В. В. и др. Конструирование машин / под ред. К. В. Фролова. М.: Машиностроение, 1994. Т. 2. 624 c.
5. Пат. № 2790244 РФ, МПК B24B 37/04 (2022.05); H01L 21/302 (2022.05); B24B 1/00 (2022.05). Способ односторонней шлифовки пластин карбида кремния свободным абразивом / С. С. Алехин, С. Г. Бишутин, А. А. Пронин. Заявка № 2022100512; заявл. 12.01.2022: опубл. 15.02.2023. 10 с.
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
700 руб
DOI: 10.14489/glc.2023.05.pp.046-051
Тип статьи:
Научная статья
Оформить заявку
