Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники

Д-р техн. наук Т. А. ИСМАИЛОВ, д-р техн. наук Т. Э. САРКАРОВ, канд. техн. наук А. Р. ШАХМАЕВА, канд. техн. наук Б. А. ШАНГЕРЕЕВА (e-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.); ФГБОУ ВО «Дагестанский государственный технический университет» (Россия, Дагестан, г. Махачкала)

Исмаилов Т. А., Саркаров Т. Э., Шангереева Б. А., Шахмаева А. Р. Защита поверхности кремниевых подложек на основе легкоплавкого стекла для изготовления кремниевых транзисторов // Стекло и керамика. 2017. ? 5. С. 25 ? 28. ?Ismailov T. A., Sarkarov T. ?., Shangereeva B. A., Shakhmaeva A. R. Surface Protection of Low-Melting Glass Based Silicon Substrates for Silicon Transistor Fabrication // Glass and Ceram. 2017. V. 74. No. 5 ? 6. P. 169 ? 171.? Сорокин В. С., Антипов Б. Л., Лазарева Н. П. Мате-риалы и элементы электронной техники: в 2 т. М.: Академия, 2006. Голенищев-Кутузов В. А. Материалы микроэлектроники. Казань: КГЭИ, 2000. Пасынков В. В., Сорокин В. С. Материалы электронной техники: учебник. СПб.: Лань, 2002. Антипов Б. Л., Сорокин В. С., Терехов В. А. Материалы электронной техники. Задачи и вопросы. СПб.: Лань, 2003. Случинская И. А. Основы материаловедения и техно-логии полупроводников. М., 2002. Мартинес-Дуарт Дж. М., Мартин-Палма Р. Дж., Агулло-Руеда Ф. Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники. М.: Техносфера, 2007. (Мир материалов и технологий). Гуртов В. А. Твердотельная электроника. М.: Техносфера, 2005. Яннини Б. Удивительные электронные устройства. М.: НТ Пресс, 2009. Игумнов Д. В., Костюнина Г. П. Основы полупроводниковой электроники: учеб. пособие. М.: Горячая Линия ? Телеком, 2005. Гаврилов С. А., Белов А. Н. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учеб. пособие. М.: Высш. образование, 2009. (Основы наук. Инженерно-технические). Игнатов А. Н., Фадеева Н. Е., Савиных В. Л. Классическая электроника и наноэлектроника: учеб. пособие. М.: Флинта ? Наука, 2009. Сибикин Ю. Д., Сибикин М. Ю. Нетрадиционные возобновляемые источники энергии: учеб. пособие. М.: РадиоСофт, 2008. Удалов С. Н. Возобновляемые источники энергии. Новосибирск: НГТУ, 2009. Малышев В. А. Основы квантовой электроники и лазерной техники. М.: Высш. шк., 2006. Пойзнер Б. Н. Физические основы лазерной техники. Томск: Изд-во НТЛ, 2006. Немудров В., Мартин Г. Системы-на-кристалле. Проектирование и развитие. М.: Техносфера, 2004. Курносов А. И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М.: Высш. шк., 1980. 327 с. Пат. 2008102629/28 РФ. МПК H01L 21/306. Способ обработки кварцевой оснастки / Т. А. Исмаилов, Б. А. Шангереева, А.Р. Шахмаева; ? 2366032; заявл. 22.01.08; опубл. 20.08.09 // Бюл. 2009. ? 24. 3 с. Пат. 2008129468/28 РФ. МПК H01L 21/306. Способ обработки фторопластовых изделий / Т. А. Исмаилов, Б. А. Шангереева, А.Р. Шахмаева; ? 2368981; заявл. 17.07.08; опубл. 27.09.09 // Бюл. 2009. ? 27. 3 с. Пат. 2008129515/28 РФ. МПК H01L 21/22. Способ первичного отжига для обработки карбид-кремниевой трубы / Т. А. Исмаилов, Б. А. Шангереева, А. Р. Шахмаева; ? 2376675; заявл. 17.07.08; опубл. 20.12.09 // Бюл. 2009. ? 35. 4 с. Пат. 2008129541/28 РФ. МПК H01L 21/306. Способ первичного отжига для обработки карбид-кремниевой трубы / Т. А. Исмаилов, Б. А. Шангереева, А. Р. Шахмаева; ? 2383965; заявл. 17.07.08; опубл. 10.03.10 // Бюл. 2010. ? 7. 3 с. Маслов А. А. Технология и конструкция полупроводниковых приборов. М.: Энергия, 1970. С. 53 ? 54.